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| 솔머티리얼즈 Sole Materials. | |
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| 기업명 | 정식: 주식회사 솔머티리얼즈 |
| 영어: Sole Materials Co.,Ltd. | |
| 설립일 | 2007년 7월 4일 |
| 업종명 | 산업용 가스 제조업 |
| 대표이사 | 김상구 |
| 상장 형태 | 비상장기업 |
| 주소 | 충청북도 청주시 청원구 오창읍 후기길 62 솔머티리얼즈 |
| 웹사이트 | |
| 매출액 | 237억 3,064만원 |
1. 개요
2007년 설립된 솔머티리얼즈는 반도체 및 디스플레이용 특수가스의 제조 및 정제, 판매사업을 진행하는회사이다.2020 년 2월 하나머티리얼즈 특수가스 사업부를 한솔케미칼에서 인수하였고,
기존의 특수가스 사업을 기반으로 반도체, 디스플레이, 전자소재 분야에서 다양한 신규사업을 추진하여 최첨단 화학소재 기업으로 성장중이다.
2. 제품
2.1. Pure Gas
품목 Purity Package 충전량 적용공정Cylinder Valve
NO 3N5, 4N (99.95%, 99.99%) 47L JISS22R 490psi, 290psi 증착공정
CF₄ 5N (99.999%) 47L, 440L DISS716, JISS22R 30kg, 32kg, 300kg 세정 및 식각공정
HBr 5N, 5N5 (99.999%, 99.9995%) 47L CGA330, DISS634 50kg, 55kg 식각공정
Si₂H₆ 4N8 (99.998%) 47L JISS22L, DISS632 5kg, 10kg, 20kg 증착공정
C3F8 5N (99.999%) 47L JISS22R 40kg 세정 및 식각공정
He 5N, 6N (99.999%, 99.9999%) 47L, Bundle CGA 580, JISS22R 130Bar, 170Bar Carrier 및 Purge 공정
2.2. Mix Gas
품목 Purity Package 충전량 적용공정Cylinder Valve
Excimer Laser 1.25% Kr
3.5%Ar/10ppmXe 47L JISS22R, CGA580, CGA679 135kg/cm2 Photo 공정
1% F₂ / 1.25% Kr
1% F₂ / 3.5% Ar 135kg/cm2 Photo공정
PH₃ Mix 20ppm ~ 50% PH₃ Mixture 47L CGA350 100 ~ 120kg/cm2 Dopant 공정
Inert Mix 3% H₂ & 1.2% He Mixture 47L DISS724, JISS22R 110 ~ 120kg/cm2 Photo 공정외
SiH₄ Mix 10ppm ~ 50% SiH₄ Mixture 47L JISS22L, CGA350 100 ~ 120kg/cm2 LED 증착공정
Si₂H₆ Mix 100ppm ~ 50% Si₂H₆ Mixture 47L CGA350 120kg/cm2 LED 증착공정
F₂ Mix 1% ~ 20% F₂ Mixture 47L CGA679 110 ~ 120kg/cm2 세정공정
AsH₃ Mix 15% AsH₃ Mixture - CGA350 400psi Dopant공정
GeH4 Mix 10% GeH4 Mixture 47L DISS632 1800psi 증착공정